真空止回阀

核心功能与目的：

防止介质倒流：这是最主要的功能。当真空泵停止工作、系统部分隔离或下游压力意外升高（高于上游真空侧压力）时，止回阀会自动关闭，阻止气体、液体、或颗粒物从压力较高的一侧倒流回需要保持真空的一侧。

保护真空泵：防止泵停止时，被抽介质（尤其是可能含有腐蚀性、颗粒或油性的介质）倒灌回泵内，造成泵的污染、腐蚀或破坏。

维持真空度：在泵停止或部分管路隔离时，阻止空气或工艺气体回流，有助于维持特定区域或整个系统的真空度，减少重新抽真空的时间和能耗。

隔离子系统：允许在不破坏主系统真空的情况下，隔离和操作系统的某个分支或腔室（例如，进行装料、取样）

防止污染：阻止污染物从压力较高的区域（如大气环境或某个工艺腔室）回流到清洁的真空环境中。

工作原理：

基于压差驱动。阀门内部通常有一个活动部件（如阀瓣、阀球、隔膜或提升阀芯）

正向流动（开启）：当阀门入口（上游，真空侧）的压力低于出口（下游）压力，且压差足以客服活动部件的重力、弹簧力（如果设计有弹簧）或摩擦力时，活动部件被推开，形成通道，允许介质从入口流向出口。

反向流动或压差消失（关闭）：当下游压力升高至等于或高于上游压力（或泵停止导致压差消失）时，活动部件在重力、弹簧力或反向压差的作用下，迅速、自动地回落到阀座上，形成密封，阻止介质倒流。

密封性：真空环境对密封性要求极高（极低的泄漏率）。阀座和活动部件的密封面需要精密加工，并常采用弹性密封圈（如氟橡胶、全氟醚橡胶、金属密封）来实现可靠的真空密封。